[发明专利]碱金属原子气室的制作方法及碱金属原子气室有效
| 申请号： | 202110611144.0 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113359404B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 贾云丛;焦斌斌;刘瑞文;孔延梅;云世昌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碱金属原子气室的制作方法及碱金属原子气室，其制作方法包括：提供一硅片；在硅片上表面、下表面均生长硬掩模层；分别对每层硬掩膜层进行处理，形成第一窗口组和第二窗口组，第一窗口组为在硅片的第一区域的轴向上对应的两个第一窗口，第二窗口组为在硅片的第二区域的轴向上对应的两个第二窗口；将第一窗口组中两个第一窗口之间的硅片打通形成第一腔室，将第二窗口组中两个第二窗口之间的硅片打通形成第二腔室；采用激光刻蚀工艺，在第一腔室与第二腔室之间的硅片的上表面，形成内壁表面粗糙的V形微流道，使第一腔室与第二腔室连通；去除硬掩膜层；在第一腔室内放入碱金属叠氮化物；将硅片的上表面、下表面均与玻璃片密封连接。 | ||
| 搜索关键词： | 碱金属 原子 制作方法 | ||
【主权项】：
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