[发明专利]一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法在审
| 申请号： | 202110611729.2 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113189843A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 葛永鑫;王毓阳;王鹏辉;卜西曼 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 李厅 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，具体包括以下步骤：S1、选取原料组合树脂、聚合单体、散射粒子、光引发剂、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、活性稀释剂和溶剂，按照重量份进行进行称取，本发明涉及光刻胶制备技术领域。该光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，通过光引发剂在光照下产生自由基，用于引发聚合物单体发生光交联固化反应形成高聚物，同时该光刻胶粘度适中，具有色泽光亮，透明度高和固化速度快的优异性能，同时对耐蚀刻性能有很大的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 单体 及其 聚合物 组合 制备 方法 | ||
【主权项】：
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