[发明专利]一种薄膜应力测量仪及其测量方法有效
| 申请号： | 202110612472.2 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113267278B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 相宇阳;戴金方;陈闻杰;王成真 | 申请（专利权）人： | 无锡卓海科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01B11/255;H01L21/66 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜应力测量仪及其测量方法，涉及测量技术领域，测量仪包括框架、测量模组、步进电机、驱动器、晶圆平台和计算机；导轨、测量模组和步进电机置于框架上层，晶圆平台固定于框架下层，步进电机设置在导轨的一端，步进电机连接驱动器用于控制测量模组在导轨上移动，导轨上设有两个限位器，用于限制测量模组的移动距离；测量模组和驱动器分别连接计算机，测量模组通过隔板上的长槽向置于晶圆平台上的晶圆发射激光，并接收反射激光，计算机中设置步进电机的扫描步长用于计算晶圆的曲率半径。该测量仪通过寻找晶圆中心点调节测量模组角度并对数据去边处理，使反射光尽量处于位置传感器的探测中心有利于提高采样精度，保证数据对称。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 应力 测量仪 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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