[发明专利]一种管状靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110612746.8 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113337799A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;孙慧芳;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15;B22F5/00;B22F7/08;C22C27/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种管状靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：准备不锈钢内管和不锈钢外管，对所述不锈钢内管的外表面进行车螺纹加工，对所述不锈钢外管的内表面进行喷砂处理；将得到的加工后的不锈钢内管和不锈钢外管同轴焊接于第一不锈钢盖板上，形成环形腔体；将混合后的合金粉末装入所述环形腔体中进行夯实处理，然后将第二不锈钢盖板焊接于所述不锈钢内管和不锈钢外管的另一端，依次进行脱气处理和热等静压处理，得到管状靶材；所述制备方法采用热等静压一体成型法，通过对不锈钢内管以及外管进行改进，有效提高了管状靶材的致密度，均匀性，降低了管状靶材的氧含量，提高了管状靶材的成品率，具有较好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管状 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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