[发明专利]一种斜入射式光谱型反射差分测量装置及方法有效
| 申请号： | 202110614043.9 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113358604B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 沈万福;胡春光;马国腾;霍树春 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李林娟 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种斜入射式光谱型反射差分测量装置及方法，入射臂组件依次包括：宽光谱白光光源、单色仪、准直透镜组及可变相位液晶延迟器；反射臂组件依次包括：光弹调制器、检偏器、汇聚透镜组和光电探测器；准直透镜组对由光源出射的光束进行处理，产生平行入射光束，起偏器对入射的非偏振光施加线偏振特性；可变相位液晶延迟器，对单色仪选择的特定波长的入射光施加π的相位调制；光弹调制器对从样品反射的光进行50kHZ的高频调制；检偏器对经过光弹调制器发射出的光进行检偏；准直透镜组将反射光汇聚到光电探测器上，所述光电探测器进行光电转换，输出电学信号。本发明实现了薄膜生长过程中对于薄膜厚度及性质的监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 入射 光谱 反射 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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