[发明专利]一种共光轴结构的类/镜面形貌超分辨测量方法及其装置有效
| 申请号： | 202110615706.9 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113237438B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 马锁冬;郑力晨;徐圣智;刘明睿;任卯韫 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种共光轴结构的类/镜面形貌超分辨测量方法及其装置。测量装置的显示模块和图像采集模块经光路折转模块偏转光路90°形成共光轴结构，通过数据传输控制线与嵌入式开发板相连；计算机通过Wi‑Fi与嵌入式开发板无线连接。测量状态时，显示屏显示0°、60°、120°三个方向上的基于时域变频三步相移的正弦直条纹，经被测物表面调制反射，由相机模组采集获取图片；相机模组将采集的图片经计算机数据处理后，得到被测物的超分辨三维形貌。本发明采用共光轴结构，装置结构紧凑、便携性强，可实现无线自动化测控；单次测量可获得多个方向上与面形梯度相关的超分辨相位数据，提升横向分辨率和纵向测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光轴 结构 形貌 分辨 测量方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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