[发明专利]表面形状测定机在审
申请号: | 202110616768.1 | 申请日: | 2018-11-02 |
公开(公告)号: | CN113280780A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 高梨陵 | 申请(专利权)人: | 株式会社东京精密 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20;G01B21/30;G01B7/28;G01B7/34 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 海坤 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供能够同时对被测定面的表面粗糙度以及被测定面的表面粗糙度以外的表面形状进行测定且能够防止触针的破损的表面形状测定机。具备:检测器;第一弹性支承构件,其将检测器支承为向第一旋转方向及与第一旋转方向相反的一侧的第二旋转方向摆动自如;驱动部,其使第一弹性支承构件沿着与摆动支点的轴向垂直且与被测定面平行的驱动方向移动;直线状的检测器引导件,其将由驱动部借助第一弹性支承构件而驱动的检测器支承为沿着被测定面移动自如;引导件支承构件,其具有与被测定面接触的一个或者多个第一接触点,并对检测器引导件进行支承。 | ||
搜索关键词: | 表面 形状 测定 | ||
【主权项】:
暂无信息
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