[发明专利]一种基于透明薄膜晶体管的光电探测器阵列及其制备方法

摘要

一种基于透明薄膜晶体管的光电探测器阵列及其制备方法，属于光电探测器技术领域。所述光电探测器阵列由透明薄膜晶体管阵列以及与其漏端电极相连的光电探测器组成。本发明通过首先制备透明薄膜晶体管阵列，将其作为底板，在其上分别通过溶液法旋涂ZnO电子传输层以及PTB7‑TH:FOIC有源层，将样品盖上阵列掩模版后分别蒸镀MoO3空穴传输层和Ag金属电极，由此制得光电探测器阵列。本发明制备的光电探测器阵列具有超低的暗电流，相比于在ITO玻璃上制备的单节光电探测器暗电流密度下降两个数量级，同时透明薄膜晶体管相比于传统薄膜晶体管，可以有效提升透光率，实现的探测器阵列具有低暗电流、高响应度、高探测率以及弱光敏感的特点。