[发明专利]一种基于宏微两级复合作动的快速反射镜有效
申请号: | 202110617908.7 | 申请日: | 2021-06-03 |
公开(公告)号: | CN113791493B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 胡庆雷;陈俊宇;郑建英;郭雷 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B7/198 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 安丽;邓治平 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提出一种基于宏微两级复合作动的快速反射镜装置,包括基座、位移传感器、音圈电机驱动部为宏动部、压电陶瓷组合桥式位移放大机构为微动部、柔性细杆、柔性铰接体、动型台、镜框组件、反射镜;音圈电机的宏动部提供大行程,压电陶瓷驱动的微动部提供小行程、超高精度,一个宏动部和一个微动部通过桥式放大机构连接组合成一个宏微双动的作动机构,动型台在宏微双级作动机构驱动下带动镜框反射镜负载绕反射镜平面X轴和Y轴旋转,位移传感器检测和反馈负载精密运动信息,柔性铰接体具有多重虎克铰,可提供镜面法向位移。本发明具有大行程、超高精度的优点,同时还具有三个自由度方向上的运动。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 两级 复合 快速 反射 | ||
【主权项】:
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