[发明专利]一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备

摘要

本发明涉及一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，包括气相反应室，气相反应室包括底座、隔热框架、气体入口、晶圆托盘和气体出口，底座固定设置在气相反应室的底部，隔热框架架设在底座的上方且与底座固定连接，晶圆托盘设置在底座的上表面，气体入口设置在隔热框架的顶部，气体出口设置在隔热框架的一个侧面；隔热框架的材料为改性石英。隔热框架用于隔绝反应室内的温度，从而保证反应的正常进行同时还能减少能源的浪费，晶圆托盘用于承载晶圆从而完成沉积，气体入口用于使反应气体导入反应室内，气体出口用于排出多余的气体。本发明的独特之处在于，对气相反应室内的隔热框架进行了改进，使该气相沉积设备能够承受更高的温度以及更加的耐用。