[发明专利]一种撞击流耦合流化床制备高质量氮化硅粉体的方法在审

专利信息
申请号: 202110625470.7 申请日: 2021-06-04
公开(公告)号: CN115432675A 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 向茂乔;朱庆山;耿玉琦 申请(专利权)人: 中国科学院过程工程研究所
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068;B01J19/18
代理公司: 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 代理人: 张红生;武玥
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种撞击流耦合流化床制备高质量氮化硅粉体的方法,所述方法包括撞击流反应工序(1)、前驱体收集工序(2)、脱卤工序(3)、深度脱卤工序(4)、分解工序(5)、晶化工序(6)、冷却工序(7)和副产物收集工序(8),可制备杂质含量低、α相含量高、粒径细且分布窄的高质量氮化硅粉体。本发明解决了传统硅胺前驱体转化法中气相合成路线难以获得低氯含量氮化硅粉体的难题,同时与传统溶剂热液相合成法和硅胺前驱体液相合成法相比,本发明可解决前驱体吸湿防护难的问题,并且能够实现连续批量化制备高质量氮化硅粉体,生产效率高,成本低。
搜索关键词: 一种 撞击 耦合 流化床 制备 质量 氮化 硅粉体 方法
【主权项】:
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