[发明专利]基于飞秒激光结合超分辨透镜的光纤探针制备装置及方法有效
| 申请号： | 202110626856.X | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113352000B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;李少博;王飞;程碧瑶;张国锋;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于飞秒激光结合超分辨透镜的光纤探针制备装置及方法，准直器设置于飞秒激光光源的出射光路上，半透半反镜设置于准直器的出射光路上，超分辨透镜设置于半透半反镜的透射光路上，透镜设置于半透半反镜的反射光路上，成像装置设置于透镜焦点处；三维位移平台设置于超分辨透镜的下方，三维位移平台上设有光纤夹持装置；超分辨透镜上具有若干同心的透光带以及设置于透光带之间的遮光带，透光带得形状为圆环形，所有透光带的衍射光之间满足相位干涉条件。本发明中的超分辨透镜能够形成细长的光针，既能够保证成像分辨率、提高加工精度，同时结合三维位移平台还能够满足在结构突变的平面结构或复杂三维结构表面的微纳加工。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 结合 分辨 透镜 光纤 探针 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110626856.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
