[发明专利]一种双层气室的微型NDIR集成红外气体传感器在审
| 申请号： | 202110629998.1 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113358596A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 余隽;王林峰;李中洲;姚冠宇;汪家奇;黄正兴;朱慧超;唐祯安 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所有限公司 21208 | 代理人： | 王树本;徐雪莲 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于红外气体传感器技术领域，一种双层气室的微型NDIR集成红外气体传感器，它包括上层气室、上层隔片、中层电路板、下层隔片及下层气室并按照从上到下顺序依次组装构成，上层气室、上层隔片、中层电路板、下层隔片及下层气室中的各衬底接触面之间，通过胶粘、平行缝焊或钎焊方式结合。本发明对比单层气室的MEMS红外气体传感器，充分利用了MEMS红外光源双面辐射的特性以及MEMS红外探测器的双面接收特性，将上下两红外辐射面和接收面均利用起来，提高了红外能量利用率。同时利用上下两个气室多次反射红外光，延长了光程，减小了体积，增强了气体响应效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 微型 ndir 集成 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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