[发明专利]多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法在审
申请号: | 202110635824.6 | 申请日: | 2021-06-08 |
公开(公告)号: | CN113832543A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 吉田敦;星野成大;石田昌彦;青山武 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/08 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
发明涉及的多晶硅棒的晶界特征为:距离多晶硅棒的截面中心2/3的区域中除硅芯以外的区域的平均对应晶界比例超过20%,晶界宽度超过550mm/mm |
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搜索关键词: | 多晶 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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