[发明专利]一种双面型MEMS热式气体流量传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202110638249.5 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113340366A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘晓海;吴盟 | 申请（专利权）人： | 百易晟信息科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王祖悦 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种双面型MEMS热式气体流量传感器，在中间键合层两侧分别成型加热电阻结构和测温电阻结构，加热电阻与测温电阻被分开，使加热电阻对测温电阻产生的影响最小化，提高测量的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 mems 气体 流量传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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