[发明专利]一种基于原位的晶体高通量培养及快速上样的装置及方法有效

专利信息
申请号: 202110638377.X 申请日: 2021-06-08
公开(公告)号: CN113376191B 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 梁淼;周欢;王志军;汪启胜 申请(专利权)人: 中国科学院上海应用物理研究所
主分类号: G01N23/20008 分类号: G01N23/20008;G01N23/20025
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 余永莉
地址: 201800 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种基于原位的晶体高通量培养及快速上样的装置及方法,包括:若干原位上样板,其上具有镂空的点样孔;用于提供镀膜场所的镀膜板,其上具有若干第一镀膜槽和若干第二镀膜槽,每个第一镀膜槽具有与原位上样板相当的尺寸,每个第二镀膜槽具有原位上样板的数倍长度以及相等宽度,用于同时容纳多个原位上样板;用于晶体培养的原位结晶板,其上包括若干池液孔,还包括前后贯穿的若干侧孔,所述侧孔位于池液孔的上方;以及适配于原位结晶板上的侧孔的通板。根据本发明,利用与原位结晶板适配的原位上样板,与原位上样板适配便于镀膜和切割的镀膜板,以及与原位结晶板适配的通板,实现了在原位前提下晶体的优化、高通量培养以及快速上样。
搜索关键词: 一种 基于 原位 晶体 通量 培养 快速 装置 方法
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