[发明专利]一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试结构及其测试方法有效
| 申请号： | 202110639892.X | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113358252B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 姚冠文;周再发;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01B7/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 孙峰 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试结构，其测试结构为由多层薄膜组成的复合悬臂梁和复合两端固支梁；本发明还公开了一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试方法，该方法使用静电驱动测量各测试结构的吸合电压；将吸合电压送入提取程序计算，即可得各层薄膜的残余应力和杨氏模量；本发明测试方法简单，且能满足工艺线在线测试的精度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 悬臂梁 固支梁 结构 多层 薄膜 残余 应力 杨氏模量 测试 及其 方法 | ||
【主权项】：
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