[发明专利]一种β-环糊精高分辨率光刻胶成膜树脂的制备方法在审
| 申请号： | 202110640706.4 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113248635A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张勇;杨舒雅;陈天涯;胡辉冯 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | C08B37/16 | 分类号： | C08B37/16;G03F7/004 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 金杭 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种β‑环糊精高分辨率光刻胶成膜树脂的制备方法。采用方法的要点是通过控制β‑环糊精、二碳酸二叔丁酯和4‑二甲氨基吡啶的投料比，在一定反应温度和时间下对β‑环糊精进行改性，在其羟基上接枝保护基团，制备高分辨率光刻胶成膜树脂。本发明的技术方案为制备高分辨率光刻胶成膜树脂提供了一条新路径，有助于我国加快突破国外相关技术封锁，对光刻胶和芯片制造业具有重要的现实意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环糊精 高分辨率 光刻 胶成膜 树脂 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江理工大学，未经浙江理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110640706.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种全自动摇针管机
- 下一篇：可重构计算结构、计算方法及硬件架构
