[发明专利]一种对晶圆量测数据分布形态的分类方法以及装置有效
| 申请号： | 202110640729.5 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113342906B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 文波 | 申请（专利权）人： | 海光信息技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/28 | 分类号： | G06F16/28;G06F16/2458;G06F16/26 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 李飞 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区天津华苑*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种对晶圆量测数据分布形态的分类方法以及装置，所述分类方法包括：获取与设定量测参数对应的量测数据，其中，所述量测数据是对一片晶圆或者同批次生产的多片晶圆上分布的被测对象进行测量或者测试得到的；根据所述量测数据的统计值，确定设定的多类数据模型中各个数据模型包括的初始被测对象，其中，通过所述多类数据模型用于表征所述测试数据存在的双峰或者拖尾现象；根据所述各个数据模型包括的初始被测对象的近邻被测对象调整相应数据模型包括的被测对象，得到所述各个数据模型的目标被测对象集。本申请的一些实施可以构建精准的晶圆测试数据分类模型，最终达到优化生产工艺和降低生产缺陷的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆量测 数据 分布 形态 分类 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
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