[发明专利]一种光斑直径检测系统、方法及光斑能量分布检测方法在审

专利信息
申请号: 202110641994.5 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113375576A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 尹晓民 申请(专利权)人: 上海光之虹光电通讯设备有限公司
主分类号: G01B11/08 分类号: G01B11/08
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 杨敏
地址: 200000 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种光斑直径检测系统、方法及光斑能量分布检测方法,包括探测环和设置在所述探测环内部的探测器,所述探测环上沿其周向开设有若干个狭缝;所述探测环上还设置有用于驱动所述探测环绕其中心进行转动的驱动结构;光斑直径检测方法包括初始参数确定步骤,所述初始参数确定步骤包括调整所述固定位置一与探测环之间的距离,以使待测光线的光斑在没有探测环遮挡的情况下能够完全被探测器接收,以及,确定所述探测环上不同狭缝之间的距离和狭缝的角度,使光斑在任一时刻不会同时投射到两个狭缝上,并使探测环在测试之初的相对位置唯一确定。本发明提供了一种新的光斑直径检测方法,检测方便且精准。
搜索关键词: 一种 光斑 直径 检测 系统 方法 能量 分布
【主权项】:
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