[发明专利]一种染料激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110643108.2 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113381287A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈生琼;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01S3/213 | 分类号： | H01S3/213;H01S3/0947 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 100029 北京市朝阳*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种染料激光器及其制备方法，包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底上的第一绝缘介质层；位于所述第一绝缘介质层背离所述半导体衬底一侧的多条单晶硅线，所述单晶硅线沿第一方向延伸，且所述多条单晶硅线沿第二方向周期排列，所述第一方向和所述第二方向相交；及，覆盖所述多条单晶硅线、且填充相邻所述单晶硅线之间间隙处的第二绝缘介质层，所述第二绝缘介质层中包括有染料。本发明提供的染料激光器不仅结构简单，并且该染料激光器的制备工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 染料 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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