[发明专利]一种电感耦合等离子体装置在审
| 申请号： | 202110643823.6 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113223916A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 吴堃 | 申请（专利权）人： | 上海邦芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 李兰兰 |
| 地址： | 201500 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种电感耦合等离子体装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶壁包括介质窗；位于介质窗顶部的电感线圈；位于介质窗顶部的若干分立的磁性元件，所述磁性元件至少被部分圈的电感线圈包围且与电感线圈分立。所述电感耦合等离子体装置能够调节反应腔主体内部的等离子体密度分度且结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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