[发明专利]一种原位气体透射电子显微镜的常压流动供气系统

摘要

本发明公开了一种原位气体透射电子显微镜的常压流动供气系统，属于材料分析测试技术领域。该系统包括前端气体混合系统和后端压力控制系统，前端气体混合系统包括气体混合气室、第一供电系统、三组供气管路和第一负压控制器，三组供气管路上具有减压阀、第一气阀、脱水装置、第二气阀、过滤装置、流速控制装置和单向阀；所述后端压力控制系统包括气阀、流量计、流速计、压力计、气体快速置换支路、第二负压控制器和第二供电系统；所述第一负压控制器和所述第二负压控制器均包括依次连接的压力控制器、单向阀和真空泵。本发明适用于多种微纳反应室，可实现透射电子显微镜原位样品台中微纳反应室单一或多种气体的稳定、连续供给。