[发明专利]一种硅腐蚀液及其生产工艺有效
| 申请号： | 202110646437.2 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113563889B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C07D401/14;C23F11/16 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 曹键 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅腐蚀液，包括以下重量份的原料：氢氟酸8‑12份、硝酸70‑78份、去离子水15‑25份、复合缓蚀剂6‑13份。且本发明利用了吡啶‑4‑甲醛为底物，使其与甲苯、高锰酸钾、二乙烯三胺、硫脲逐步反应形成了复合缓蚀剂；该复合缓释剂通过分子中的氮原子、硫原子、分子机构的大π键与金属形成配位键或化学共价键，在金属表面形成一层致密的疏水膜，阻碍了溶液中的氢离子对金属的腐蚀，但是该复合缓释剂中的的氮原子、硫原子、分子机构的大π键不能与硅形成配位键或共价键，不能在硅表面形成保护膜，不影响腐蚀液对硅的腐蚀行为，实现了对硅腐蚀高效，同时对金属腐蚀低效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴润玛电子材料股份有限公司，未经江阴润玛电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110646437.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
