[发明专利]离子检测器在审
| 申请号： | 202110647597.9 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113808904A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 小林浩之;高塚清香 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J43/04 | 分类号： | H01J43/04;H01J43/24;H01J49/02;H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一种离子检测器具备：微通道板，其用于接受离子的入射而产生二次电子，将产生的所述二次电子倍增并输出；多个电子冲击型二极管，其在面向所述微通道板侧的电子入射面具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域，用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射，将入射的上述二次电子倍增并且检测；以及聚焦电极，其配置于所述微通道板与所述电子冲击型二极管之间，用于朝向所述电子冲击型二极管聚焦所述二次电子，所述多个电子冲击型二极管中的彼此相邻的至少一对上述电子冲击型二极管以通过彼此的所述电子入射面形成向所述微通道板侧或向与所述微通道板的相反侧凸出的角部的方式进行配置。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 检测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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