[发明专利]一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法有效
| 申请号： | 202110647956.0 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113587827B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;沈文杰;李阳健;严浩;张杨燕 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 朱莹莹;周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法，包括光路结构、扫频激光器和数据采集运算装置，数据采集运算装置包括光电探测器、高频数采卡、PC、PLC和光电编码器；扫频激光器向光路结构输出光束，光路结构对光束进行分路处理生成测量干涉光M |
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| 搜索关键词： | 一种 晶圆面形 实时 在线 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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