[发明专利]超薄玻璃掩膜板以及超薄玻璃掩膜板清洗方法在审
| 申请号： | 202110650730.6 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113235044A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋承忠 | 申请（专利权）人： | 蒋承忠 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 钟宗 |
| 地址： | 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了超薄玻璃掩膜板以及超薄玻璃掩膜板清洗方法，其中，超薄玻璃掩膜板包括：一掩膜板框架，其骨架合围形成若干个供掩膜安装的留空区域；若干超薄玻璃掩膜，分别可拆卸地连接于留空区域，每个超薄玻璃掩膜包括一超薄玻璃本体，基于预设蒸镀图案在超薄玻璃本体的唯一的基板区域沿厚度方向形成贯穿超薄玻璃本体的若干贯通孔，每个贯通孔的内壁与超薄玻璃本体的表面之间形成倒角，当进行蒸镀时，超薄玻璃掩膜的贯通孔供蒸镀介质通过超薄玻璃本体到达蒸镀对象。本发明能够通过超薄玻璃掩膜板替代传统掩膜，超薄玻璃掩膜与掩膜板框架可迅速分离清洗，并且能对单个超薄玻璃掩膜进行替换或修补，无需张网，缩短掩膜板清洗时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 玻璃 掩膜板 以及 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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