[发明专利]一种用于单晶硅制备的单晶炉及单晶硅的制备方法有效
| 申请号： | 202110651170.6 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113106537B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 欧子杨;白枭龙;张昕宇 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 314416 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例涉及太阳能单晶硅制造领域，特别涉及一种用于单晶硅制备的单晶炉，单晶炉可在第一工作状态与第二工作状态之间转换，其中，当单晶炉在第一工作状态与第二工作状态之间转换时，第一保温筒相对于第二保温筒移动；当单晶炉处于第一工作状态时，第二保温筒的侧壁盖合第一开口、以将反应腔室与单晶炉的外部隔断；当单晶炉处于第二工作状态时，第二保温筒露出第一开口、以使反应腔室经由第一开口连通至单晶炉的外部。本申请实施例还提供一种单晶硅的制备方法。本申请实施例提供的用于单晶硅制备的单晶炉及单晶硅的制备方法，可简化将单晶炉内的反应腔室与单晶炉的外部连通的操作过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 制备 单晶炉 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司，未经浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110651170.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
