[发明专利]一种基于硅基多次反射腔的红外气体传感器

摘要

本发明提供了一种基于硅基多次反射腔的红外气体传感器，包括基于硅基的多次反射腔、红外光源、光探测模块和集成电路模块；多次反射腔包括上层硅片、下层硅片、离轴抛物面、硅基反射片和滤光片；上层硅片的下表面蚀刻有凹槽，上层硅片的两侧面设置有硅基反射片，硅基反射片的表面镀有反射膜以形成光路通道；下层硅片与上层硅片叠在一起；光路通道的两端分别安装离轴抛物面，下层硅片上分别设置入射孔和出射孔；红外光源和光探测模块分别设置在入射孔和出射孔处；上层硅片上设置透气孔、外侧设置防水透气膜。该红外气体传感器具有红外光传输效率更高、光程更长、探测灵敏度更高的优点。