[发明专利]一种晶圆级芯片模压封装方法及晶圆级芯片在审

专利信息
申请号: 202110652686.2 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113394311A 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 王吉;徐群;曹培红 申请(专利权)人: 王吉;徐群;曹培红
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0203;H01L33/52
代理公司: 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 代理人: 徐磊
地址: 新加坡兀兰8*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种晶圆级芯片模压封装方法及晶圆级芯片,方法包括以下步骤:步骤20,电路板与模具校准,包括将已黏贴晶粒、焊接好元件的电路板与所述模具校准并装配成套;步骤30,常温注胶,包括将液态环氧注射入已组装晶粒的所述模具中;步骤40,胶液固化,包括使所述液态环氧固化成型,使已黏贴晶粒的所述电路板和所述液态环氧形成已封装的晶圆;步骤50,晶圆脱模,包括将封装后的所述晶圆从所述模具种分离,将所述晶圆切割形成封装完成的晶片。本发明晶圆级芯片模压封装方法及晶圆级芯片,封装方法设计巧妙灵活,通过液态注胶模式,胶液流动性好,因而产品模具较少局限,模具设计灵活;液态环氧胶液固化方式多种选择,灵活多变;整个工艺流程易管控。
搜索关键词: 一种 晶圆级 芯片 模压 封装 方法
【主权项】:
暂无信息
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