[发明专利]一种智能螺栓用AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110653531.0 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113293355B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 杨兵;姚佳丽;刘琰;李敬雨;瓦西里;陈燕鸣;张俊;黄家辉 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 石超群 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及合涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐温耐磨智能螺栓用AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内至外包括依次设置的结合层、过渡层、压电功能层和保护层，结合层为纯金属AlCr合金层，过渡层为AlCr/AlCrN纳米多层膜，压电功能层为AlCrN/AlScN纳米多层膜，保护层为AlCrON涂层。本发明的复合压电涂层具有抗腐蚀、高耐磨和高韧性的特点，可以保证压电涂层长期稳定的在智能螺栓表面工作，减少腐蚀等导致的失效可能性。采用的溅射技术为工业上的通用技术，工业生产批量容易实现，加工效率较高，可以大幅度降低厂家的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 螺栓 alcrn alscn 纳米 复合 压电 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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