[发明专利]一种氮化铝单晶材料在压电材料中的应用在审

专利信息
申请号: 202110655187.9 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113308742A 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 陈晨龙;李俊谕;王俪霖;蔡文汉;孙姝婧 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所;闽都创新实验室
主分类号: C30B29/40 分类号: C30B29/40;C30B25/02;C30B25/18
代理公司: 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 代理人: 张琦
地址: 350002 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 本申请公开了一种氮化铝单晶材料在压电材料中的应用,所述氮化铝单晶材料为连通纳米孔和纳米壁构成的氮化铝单晶晶体和/或氮化铝单晶薄膜。本申请中的氮化铝单晶材料,兼具了体块晶体无晶界相连与纳米材料无应力特征,其表面只有孔没有位错,具有优良的压电性能,是可用于氮化铝基器件的优质压电材料。
搜索关键词: 一种 氮化 铝单晶 材料 压电 中的 应用
【主权项】:
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