[发明专利]一种OLED及基板风干箱体在审
| 申请号： | 202110657810.4 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115483144A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 高军鹏;康宏刚;李世杰;张立文 | 申请（专利权）人： | 深圳市易天自动化设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677;H01L51/56;F26B21/00;F26B25/06;F26B25/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED及基板风干箱体，包括风干箱体及风干载台，风干箱体包括二组，分别沿物料传输方向平行间隔地设置于机架上，形成双风干通道；风干载台包括至少二组，风干载台设置在风干箱体内，并对应设置在风干工位及缓存工位处，风干载台为镂空支撑结构，待风干的OLED基板放置在风干载台上，经风干载台下方的风干搬臂向上穿过风干载台托住OLED基板后，沿直线运动穿过风干组件进行风干后，风干搬臂下降并从风干载台下方直线返回。本发明采用双风干通道与单次多片风干方式，有效地提升了风干效率，采用镂空式真空承载及吸附结构，在承载、搬移过程中同步完成上下面风干动作，并实现OLED及FPC独立吸附固定，保证搬移风干过程中位置稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 风干 箱体 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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