[发明专利]一种氮化铝模板的制备方法有效
| 申请号： | 202110659364.0 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113488564B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 徐广源;蒋国文;樊怡翔;白城镇;常煜鹏 | 申请（专利权）人： | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/324;H01L21/02;H01L33/12 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 郝亮 |
| 地址： | 046000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化铝模板的制备方法，其包括以下步骤：(1)、在衬底的表面上溅射10～1000nm厚的氮化铝层；(2)、将表面溅射有氮化铝层的衬底进行高温退火处理；(3)、将经过高温退火处理后的表面溅射有氮化铝的衬底进行深冷处理；(4)、将深冷处理后的表面溅射有氮化铝的衬底升温至室温；(5)、将升温至室温的表面溅射有氮化铝的衬底进行低温退火处理；(6)、重复循环上述步骤(3)‑步骤(5)两到六次，得到最终的氮化铝模板。其可有效优化AlN和蓝宝石界面的应力状态，改善界面的结合性能，减小AlN的晶格应变，提高用此模板生长不同组分AlGaN的表面形貌和晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 模板 制备 方法 | ||
【主权项】：
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