[发明专利]一种基于PMUT的图像声呐接收阵及其制造方法在审
| 申请号： | 202110659721.3 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113406648A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 徐方良;何野;徐波 | 申请（专利权）人： | 江苏英特神斯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S15/89 | 分类号： | G01S15/89;G01S7/521;H01L27/20;H01L41/25 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 韩朝晖 |
| 地址： | 210032 江苏省南京市浦口区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PMUT的图像声呐接收阵及其制造方法。所述的图像声呐接收阵包括承压壳体、PMUT模块、PCB转接板和电子仓；所述的PMUT模块在PCB转接板上均匀分布组成阵列，通过引脚焊盘和PCB转接板进行连接，所述的PCB转接板和电子仓通过信号传输接口进行连接，所述的承压壳体覆盖在PMUT模块上，并与PCB转接板粘接；所述PMUT模块包括管壳和封装于管壳中的PMUT芯片，PMUT芯片表面形成空腔，PMUT阵元裸露，空腔内填充耦合剂。本发明可实现图像声呐接收阵阵元高一致性制造以及阵元的全连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pmut 图像 声呐 接收 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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