[发明专利]一种压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110659871.4 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113252232A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 武斌;许克宇 | 申请（专利权）人： | 深圳市美思先端电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/06 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人： | 廉红果 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公明街道塘家社区观*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，包括玻璃底座和位于玻璃底座上的硅应变膜片，玻璃底座的一面设有凹陷空腔，硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；硅应变膜片的正面朝向空腔处设有十字梁结构的梁膜结构，梁膜结构的各个端部设有一组压敏电阻、一组重掺杂接触区和一对金属引线，压敏电阻和重掺杂接触区串接，两端由金属引线从重掺杂接触区引出，金属引线和重掺杂接触区在硅应变膜片的正面形成欧姆接触，且各压敏电阻之间形成惠斯通电桥；所述梁膜结构包括设于所述十字梁上的多个凹槽结构，以用于调节压力传感器的性能，适应不同的量程；线性度更高，结构更加稳定，且适用于不同量程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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