[发明专利]一种老化基板的高温加压测试方法及其测试设备在审
| 申请号： | 202110660089.4 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115480144A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 曹佶;赵宝忠 | 申请（专利权）人： | 浙江杭可仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01N3/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种老化基板的高温加压测试方法，包括：步骤A：通过一次性成型的方式生产平整度在±0.1mm‑±1mm内的多个隔板；步骤B：对多个隔板进行压力均匀性测试，依据均匀性测试结果选择合适平整度的多个隔板；步骤C：把步骤B中选择的多个隔板一一设置在多个夹板组件的一侧，再把该夹板组件平行地设置在用于对待测老化基板进行高温加压测试的测试设备上；步骤D：用相邻两个夹板组件去夹取老化基板，夹板组件还包括加热板，加热板设置在隔板的一侧，通过加热板对老化基板进行加热，同时通过隔板对老化基板施压，而对老化基板进行高温加压测试；其还公开了一种老化基板的高温加压测试设备。其能快速地高温加压测试老化基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 老化 高温 加压 测试 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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