[发明专利]基于HfO2 在审
| 申请号： | 202110664651.0 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113571583A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 彭悦;韩根全;马煜;肖文武;刘艳;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/24 |
| 代理公司： | 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 61218 | 代理人： | 包春菊 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明属于电子技术领域，公开了一种基于HfO |
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| 搜索关键词： | 基于 hfo base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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