[发明专利]基于TSV应用于毫米波波段的终端短路抽头交指滤波器在审
| 申请号： | 202110665933.2 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113488753A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王凤娟;张凯;余宁梅;杨媛;朱樟明;尹湘坤 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01P1/205 | 分类号： | H01P1/205 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 曾庆喜 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于TSV应用于毫米波波段的终端短路抽头交指滤波器，包括硅衬底，硅衬底的上方设有二氧化硅层，硅衬底的下方设有接地金属板；二氧化硅层上布设有金属线RDL，硅衬底内布设有TSV圆柱，TSV圆柱分别与金属线RDL和接地金属板连接。本发明在减少滤波器的面积后并且拥有较高的集成度，能够实现W波段下滤波，同时提高了滤波器的独立性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 tsv 应用于 毫米波 波段 终端 短路 抽头 滤波器 | ||
【主权项】：
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