[发明专利]一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质在审
| 申请号： | 202110667822.5 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113326853A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 雷晓强;韩邦;翟正军;赵楠;李元博;史琛 | 申请（专利权）人： | 西安隆基智能技术有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/46 | 分类号： | G06K9/46;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 710018 陕西省西安市经济技术开发区草*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于神经网络的工艺参数分析方法、设备以及计算机存储介质，涉及神经网络技术领域，以解决设备的多个工艺参数之间关联性较大的技术问题。上述基于神经网络的工艺参数分析的方法包括：根据多个工艺过程产生的工艺参数的时序数据创建测试数据集，其中，每个工艺过程均包括多个工艺参数。将测试数据集输入至神经网络分类模型中，提取出各个工艺参数相应的特征向量，其中，神经网络分类模型包括多个门控循环网络，每个门控循环网络用于对一个工艺参数的时序数据进行特征提取。根据特征向量与神经网络分类模型中全连接层的权值，确定相应工艺参数的贡献度向量。根据每个工艺参数相应的贡献度向量，确定相应工艺参数对工艺过程的影响度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 神经网络 工艺 参数 分析 方法 设备 以及 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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