[发明专利]陀螺仪在审
| 申请号： | 202110668642.9 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113418517A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 李杨;杨珊;占瞻;马昭;阚枭;黎家健;洪燕;陈秋玉 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;深圳导远科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了陀螺仪，陀螺仪包括基底；谐振器，悬置于基底上，谐振器包括谐振梁以及均呈圆环状的外谐振器、内谐振器及中谐振器，中谐振器套设于内谐振器的外侧，外谐振器套设于中谐振器的外侧，中谐振器包括沿内谐振器的周向均匀分布的8N个谐振单元，谐振梁分为连接谐振单元和外谐振器的第一谐振梁以及连接内谐振器和谐振单元的第二谐振梁，其中，N为正整数；锚点，固定于基底并与谐振单元之间机械场耦合；电极组件，固定于基底并与谐振器电场耦合以驱动谐振器沿相互垂直的第一方向和第二方向振动，并检测谐振器沿与第一方向的夹角呈45度方向或与第一方向的夹角呈135度方向的振动位移。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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