[发明专利]一种晶态二氧化硅制备多晶硅的方法及系统在审
| 申请号： | 202110668864.0 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113387359A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 何良雨;刘彤 | 申请（专利权）人： | 何良雨 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 姚章国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为克服现有多晶硅的生产工艺存在初始原料引入杂质，导致的多晶硅纯度难以控制的问题，本发明提供了一种晶态二氧化硅制备多晶硅的方法，包括以下操作步骤：获取晶态二氧化硅，将晶态二氧化硅置于高能粒子辐照下，使晶态二氧化硅转化为无定形二氧化硅；将无定形二氧化硅与还原性碳、氯气反应得到四氯化硅；将四氯化硅和氢气在高温下反应生成多晶硅。同时，本发明还公开了一种晶态二氧化硅制备多晶硅的系统。本发明提供的晶态二氧化硅制备多晶硅的方法及系统采用高能粒子辐照的晶态二氧化硅作为初始原料，既保证了初始原料高纯度和低杂质含量，实现多晶硅制取反应的直接原料四氯化硅的高纯度生产，又保证了初始原料的高化学活性，有效提高了反应效率和减少了耗能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶态 二氧化硅 制备 多晶 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于何良雨，未经何良雨许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110668864.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
