[发明专利]一种实现选择性抽气与再生的双级低温泵及其吸附再生方法有效
| 申请号： | 202110672802.7 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113294315B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 陈肇玺;杨庆喜;宋云涛;陆坤;胡建生;郑金星;左桂忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 缪璐欢 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种实现选择性抽气与再生的双级低温泵，涉及低温真空技术领域，本发明包括一级泵体、二级泵体和推动单元，一级泵体与二级泵体连通，推动单元包括一级推动单元和二级推动单元。本发明还提供采用上述低温泵的吸附再生方法。本发明的有益效果在于：一级泵体和二级泵体分别为独立空间，能够实现不同级之间的选择性吸气和独立再生，避免了传统整体式再生带来的升温、降温慢的缺点，为实现聚变堆低温泵的快速再生提供了有力支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 选择性 再生 低温泵 及其 吸附 方法 | ||
【主权项】：
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