[发明专利]一种原位监测半导体材料成膜和结晶的监测装置及使用方法在审
| 申请号： | 202110673493.5 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113376098A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 赵奎;刘冬乐;常晓明;吴垠 | 申请（专利权）人： | 陕西师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/31;G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710119 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位监测半导体材料成膜和结晶的监测装置及使用方法，该装置将膜厚仪和旋涂仪之间通过投射光纤和反射光纤相连接，因此在旋涂过程中可以原位监测溶液态到固态的吸收光谱。该装置集成化程度高，适应性强，可以快速准确地监测旋涂过程中样品的吸收光谱变化。为相关领域研究提供了具有重要价值的表征以及检验方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 监测 半导体材料 结晶 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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