[发明专利]共聚焦显微红外调制光致发光谱实验装置及测试方法在审
| 申请号： | 202110674828.5 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113484290A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 邵军;陈熙仁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种共聚焦显微红外调制光致发光谱实验装置及测试方法。装置包括泵浦激光及其方向稳控与准直模块、反射物镜激光聚焦与红外信号收集模块、低/变温载物台、亚微米级分辨的六维电控位移台、准实时影像监测模块、步进扫描迈克尔逊干涉仪、幅值调制与相敏检测模块以及计算机控制系统。基于上述装置，本发明进一步提出实现覆盖3‑20微米宽波段的共聚焦显微红外调制光致发光光谱测试方法。本发明是一种检测窄禁带材料微区光学性质和电子能带结构的光谱学成像测试装置和方法，具有无损非接触、长波长、宽波段、高空间分辨和高谱分辨能力等优点，非常适用于包括窄禁带半导体等红外光电子材料在内的微结构光学性质检测和光电子显微分析。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 显微 红外 调制 光致发光 实验 装置 测试 方法 | ||
【主权项】：
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