[发明专利]一种乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202110676541.6 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113399393A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 赵文军 | 申请（专利权）人： | 沧州华宇特种气体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/093;B08B13/00;F17C7/00;F17C13/00;F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 河北磅礴律师事务所 13139 | 代理人： | 孟玉敏 |
| 地址： | 061000 河北省沧州*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明一种乙硼烷气瓶余气回收及气瓶清洗装置及其使用方法，属于特殊气体装备技术领域；包括第一气动阀门，第一气动阀门一端连接高压氮气输入系统，另一端连接压力变送器，压力变送器的输入端与第一气动阀门连接，其输出端与待处理的乙硼烷气瓶连通；且待处理的乙硼烷气瓶还与低温冷阱的输入端进行连接，低温冷阱的输出端与废气处理装置连通，待处理的乙硼烷气瓶与低温冷阱之间有第二气动阀门，低温冷阱与废气处理装置之间有第三气动阀门；待处理的乙硼烷气瓶同时也与废气处理装置进行连通，且连通管理上设置第四气动阀门和乙硼烷浓度检测器。本发明该装置结构设计简单、合理，而且回收效果和清洗效果好，效率高，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 乙硼烷气瓶余气 回收 清洗 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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