[发明专利]一种用于CVD碳气相沉积的回转炉碳陶炉管、回转炉及碳陶炉管的制备方法在审
申请号: | 202110677117.3 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113416086A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 易旭;廖寄乔 | 申请(专利权)人: | 湖南金硅科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/83 | 分类号: | C04B35/83;C04B35/52;C23C16/26;C23C16/44 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 413000 湖南省益阳市益阳*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于CVD碳气相沉积的回转炉碳陶炉管、回转炉及碳陶炉管的制备方法。碳陶炉管的制备方法为:以多层碳纤维无纬布和碳纤维网胎交替叠加,针刺复合形成管状结构,管状结构经过热固化处理及化学气相沉积后,得到炉管坯体;将坯体进行机加工,得到精加工炉管坯体;将精加工炉管坯体进行熔融渗硅处理和碳化硅化处理,即得碳陶炉管。该碳陶炉管具有密度低、耐磨损、强度高、抗氧化、无热衰退等优点,特别是不会与氢气及碳氢有机气体发生反应而产生氢脆腐蚀破裂,能够避免硅基负极材料加工过程中引入金属杂质,可广泛应用于CVD碳气相沉积、包覆,氨分解氢等各种工艺的高温炉管。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 cvd 碳气相 沉积 回转 炉碳陶 炉管 制备 方法 | ||
【主权项】:
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