[发明专利]一种贴片机防飘片检测装置及方法在审
申请号: | 202110677440.0 | 申请日: | 2021-06-16 |
公开(公告)号: | CN113267125A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 李文磊;严政先;安爱博;赵欣;郭会波;刘子申;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 薛萌萌 |
地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了一种贴片机防飘片检测装置及方法,包括陶瓷盘、贴片机和图像采集单元,陶瓷盘上表面形成用于放置硅片的放置区,贴片机设置在陶瓷盘的上方,用于向陶瓷盘上放置硅片;图像采集单元包括摄像头和图像处理系统,摄像头设置在陶瓷盘上方,摄像头与图像处理系统连接。本发明有益效果:一种贴片机防飘片检测装置及方法增加了贴片机防飘片的检测功能,改系统易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作;经过车间现场实际使用效果得知,该系统能有效避免因贴片机飘片而造成硅片碎裂,抛光垫、陶瓷盘、中心导轮、边导轮、抛光机大盘等部件的损坏,规避了巨大的经济损失和减少了维修工时。 | ||
搜索关键词: | 一种 贴片机防飘片 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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