[发明专利]一种碳化硅动态检测设备有效
| 申请号： | 202110677477.3 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113253087B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杜浩晨 | 申请（专利权）人： | 陕西开尔文测控技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/02;B65G47/84;B65G17/12;B65G17/32;B65G59/02;B65G65/32;B65G23/22;B65G43/00 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 崔瑞迎 |
| 地址： | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体检测设备技术领域，具体涉及一种碳化硅动态检测设备，该设备包括检测设备主体和进样装置，所述进样装置包括立架和外壳，所述立架上铺设有与碳化硅器件端口以及检测设备主体接线端口连接的导线，所述导线的用于插入上述端口的一端采用导电金属柱，所述外壳的顶部设有穿接口；所述外壳内设有样品存储箱、样品传送装置、样品收集箱和控制器，所述样品传送装置位于所述导电金属柱和所述样品存储箱之间，所述样品传送装置用于将碳化硅器件传送至适宜的位置。本发明开发出了与碳化硅检测设备配套使用的可连续检测的进样装置，可将待检的所有碳化硅器件连续性测试，比传统的逐个器件测试过程大大提高了速度，节约人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 动态 检测 设备 | ||
【主权项】：
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