[发明专利]一种钨靶材与铜背板的扩散焊接方法在审
申请号: | 202110678110.3 | 申请日: | 2021-06-18 |
公开(公告)号: | CN113305412A | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/02 | 分类号: | B23K20/02;B23K20/24;B23P23/04 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种钨靶材与铜背板的扩散焊接方法,所述扩散焊接方法包括以下步骤:对钨靶材焊接面依次进行精磨以及PVD镀膜,非焊接面进行抛光处理;对铜背板的焊接面进行PVD镀膜;将所述钨靶材、所述焊接面以及中间层进行装配,并依次进行包套焊接以及热等静压焊接。所述扩散焊接方法可以提高钨靶材与铜背板的结合性能,解决钨靶材与铜背板的结合能力不足的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 钨靶材 背板 扩散 焊接 方法 | ||
【主权项】:
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